可加工为生物芯片的金刚石镀膜基板的制造方法微光学装置制造方法基于悬浮粒子幕的光电再现空间影像装置的制造方法谐振型压力传感器芯片的局部真空封装方法体相位全息图记录用感光性树脂组合物和使用了其的光信息记录介质的制作方法微机电层叠式毫米波天线的制作方法通用性薄膜材料图形化方法射频微机械串联接触式_sQ-v6R\O1e-l的制作方法用于mems圆片级封装的球形玻璃微腔的制备方法制造微机械部件的方法用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂的制作方法调整扭转式微机电元件共振频率的方法制备胶体探针的方法及装置的制造方法掩模层三维结构转移的mems体硅工艺方法Pdms弹性体表面硬质薄膜层选区刻蚀的制备方法及应用超薄真空密封mems晶圆的加工方法Mems三轴加速度计及其制造方法深硅刻蚀方法燃料电池的mems制造方法填塞孔的方法和填塞的孔的制作方法湿式蚀刻自组装单层图案化基材和金属图案化制品的方法用于再现全息图的装置和方法用于制造微机电装置的方法和微机电装置的制造方法耐高温硅应变计传感器芯片及其制作方法聚合物表面的尖劈微结构制备方法基于黒硅的高性能mems热电堆红外探测器及其制备方法飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法一种基于激光干涉光刻在材料表面制作微纳结构的方法光信息记录再现装置和方法、光信息记录介质的制作方法制造谐振式传感器的方法一种晶圆级阳极键合方法带有空腔的衬底的制备方法多层衬底结构及其制造方法大面积表面增强拉曼活性基底的倾斜生长制备方法一种用于水面微生物检测的数字全息记录装置的制造方法一种含mems开关的可重构微波低通滤波器的制造方法精准集成三轴mems装置到基板的方法一种薄壁圆柱筒形微零件的内壁夹持装置和方法多狭缝光波导外延型光栅fp腔光学生化传感芯片的制作方法用于肿瘤标志物检测的碳纳米管微悬臂梁生物传感器的制造方法全息显示装置以及利用3d视频的冗余生成全息图的方法用于生成全息图的全息显示装置和方法碳纳米管微尖结构及其制备方法采用koh溶液的硅基mems器件湿法释放方法用于集成mems-cmos装置的方法和结构的制作方法基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制造方法整合被动元件的半导体装置的制造方法一种应用于微机电系统器件的真空封装方法热退火工艺的制作方法一体化全振导电薄膜结构的电容式超声传感器及其制作方法一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法一种一维纳米线阵列结构聚偏氟乙烯的制备方法一种双谐振子硅微压力传感器及其制作方法硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法Uv拼版方法及装置的制造方法一种全息影像显示方法及装置的制造方法一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法一种微型cpt原子钟碱金属蒸汽腔的充气和封堵系统及方法一种三维有序大孔微电极的制备方法金属纳米颗粒辅助刻蚀法制备介孔硅纳米线的方法一种微通道形成的方法基于微机械直接热电式功率传感器的相位检测器及制法一种微型的桥式结构及其制备方法互动显示单元的制作方法Mems纳米结构及其形成方法一种mtj纳米柱阵列的制备方法银锡共晶真空键合金属应变式mems压力传感器及其制造方法全息成像装置及方法全息再现装置和再现方法以及全息实现设备和实现方法一种在pdms弹性体表面选区沉积银纳米颗粒的方法反射全息存储方法利用通道的无空穴晶圆结合的制作方法制作mems惯性传感器的方法及mems惯性传感器的制造方法用于传送带预塑封体的引线框的导轨及系统的制作方法全息影像的合成系统的制作方法彩色全息影像的合成系统的制作方法全息影像的合成系统的制作方法柔性超微孔宽频带微穿孔板的制作方法一种微凹面镜的制备方法基于绝缘体上硅选择性制备多孔硅的方法基于量子输运的钯纳米结构氢气传感器的温度补偿系统及方法一种微透镜、微透镜阵列结构及其制作工艺的制作方法在大面积上生产高度有序的纳米柱或纳米孔结构的方法埋层腔体型soi的制造方法三维电极图形制作方法用于低温检测H<sub>2</sub>的Pd掺杂SnO<sub>2</sub>纳米线气体传感器及制备方法用于制造混合集成的构件的方法Amr mems制造方法用于MEMS工艺的TaN刻蚀聚合物残留去除方法制备于柔度可控基底上的连通性可调的钯基氢气传感器及其制作方法微电机系统制造工艺中聚酰亚胺刻蚀后去除光刻胶的方法全息照片的制作方法片材的装饰的制作方法全息光栅装饰树脂板的制作方法脉冲激光全息图大批量塑料复制技术的制作方法制作透射全息图的方法和装置的制造方法制作反射全息图的方法与系统的制作方法为改变全息图波长响应的干性薄膜方法改进的全息陷波滤波器的制造方法